國產(chǎn)真空泵打破海外壟斷半導(dǎo)體領(lǐng)域市占率首破30%

更新日期：2025/11/24

中國電子報 2025年11月24日核心元器件版作為工業(yè)制造的“心臟動力設(shè)備”，真空泵在半導(dǎo)體芯片制造、新能源電池封裝、生物醫(yī)藥凍干等高端領(lǐng)域不可或缺。長期以來，全球高端真空泵市場被德國普旭、日本愛德華等海外企業(yè)主導(dǎo)，國內(nèi)企業(yè)多局限于中低端市場。如今這一格局正在被打破——據(jù)中國通用機(jī)械工業(yè)協(xié)會真空設(shè)備分會最新數(shù)據(jù)，2025年三季度，國產(chǎn)高端真空泵在半導(dǎo)體領(lǐng)域市占率首次突破30%，其中中科科儀、漢鐘精機(jī)等龍頭企業(yè)的產(chǎn)品已批量進(jìn)入中芯國際、華虹半導(dǎo)體等頭部晶圓廠生產(chǎn)線。

技術(shù)攻堅：從“卡脖子”到“并跑”的突破之路

半導(dǎo)體芯片制造的離子注入、薄膜沉積等關(guān)鍵工序，對真空泵的極限真空度、抽氣速率穩(wěn)定性及耐腐蝕性要求極高，此前全球僅有3家海外企業(yè)能實現(xiàn)量產(chǎn)供應(yīng)。“十年前，國產(chǎn)真空泵在半導(dǎo)體車間連‘入場資格’都沒有，核心技術(shù)壁壘集中在精密轉(zhuǎn)子加工、腔體密封材料等方面。”中科科儀真空技術(shù)研究院院長王健介紹，企業(yè)聯(lián)合清華大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)組建專項攻關(guān)組，歷時八年突破“磁懸浮軸承”“碳化硅涂層”兩大核心技術(shù)，成功研發(fā)出分子真空泵和干泵兩大系列高端產(chǎn)品。

其中，中科科儀推出的ZJ-800型分子真空泵，極限真空度達(dá)到10?11Pa，抽氣速率較海外同類產(chǎn)品提升15%，而成本降低近40%；漢鐘精機(jī)研發(fā)的半導(dǎo)體專用干泵，通過“無油潤滑”技術(shù)創(chuàng)新，解決了傳統(tǒng)真空泵油污污染晶圓的行業(yè)痛點，已通過臺積電14nm制程工藝驗證。截至2025年10月，兩家企業(yè)的高端真空泵累計交付量超2萬臺，打破了海外企業(yè)的長期價格壟斷。

場景驅(qū)動：新能源與生物醫(yī)藥打開增長新空間

除半導(dǎo)體領(lǐng)域外，新能源產(chǎn)業(yè)的爆發(fā)式增長為真空泵行業(yè)帶來了新的增長極。在動力電池制造中，電極涂布、電芯注液等工序需要高真空環(huán)境保障產(chǎn)品性能，國內(nèi)真空泵企業(yè)針對性推出定制化解決方案。“我們?yōu)閷幍聲r代研發(fā)的動力電池專用真空泵，通過智能壓力控制系統(tǒng)，可將電芯注液環(huán)節(jié)的真空保持精度控制在±0.1Pa，助力電池能量密度提升5%。”漢鐘精機(jī)新能源事業(yè)部負(fù)責(zé)人表示，2025年企業(yè)新能源領(lǐng)域真空泵營收同比增長68%，成為第二大核心業(yè)務(wù)板塊。

生物醫(yī)藥領(lǐng)域的需求同樣旺盛。隨著凍干制劑、生物疫苗產(chǎn)能擴(kuò)張，對真空凍干機(jī)配套真空泵的需求激增。上海真空泵廠研發(fā)的耐腐蝕真空泵，采用特種合金材料制造腔體，可適應(yīng)生物醫(yī)藥生產(chǎn)中的酸性、堿性工藝環(huán)境，產(chǎn)品已供應(yīng)國藥集團(tuán)、恒瑞醫(yī)藥等企業(yè)，市場占有率連續(xù)三年位居國內(nèi)第一。數(shù)據(jù)顯示，2025年1-10月，國內(nèi)真空泵市場整體規(guī)模達(dá)186億元，其中高端市場增速超25%，新能源、生物醫(yī)藥貢獻(xiàn)了近60%的增量。

政策與生態(tài)：國產(chǎn)替代加速的雙重保障

國產(chǎn)真空泵的快速崛起，離不開政策支持與產(chǎn)業(yè)生態(tài)的協(xié)同發(fā)力。在“十四五”高端裝備制造業(yè)發(fā)展規(guī)劃中，真空泵被列入“重點突破的核心零部件”清單，國家發(fā)改委對符合條件的研發(fā)項目給予最高30%的資金補貼；地方層面，江蘇、廣東等地設(shè)立真空設(shè)備產(chǎn)業(yè)園區(qū)，提供土地、稅收等配套優(yōu)惠政策，吸引上下游企業(yè)集聚。

產(chǎn)業(yè)生態(tài)的完善進(jìn)一步加速了國產(chǎn)替代進(jìn)程。目前，國內(nèi)已形成“核心部件-整機(jī)制造-運維服務(wù)”的完整產(chǎn)業(yè)鏈，上游的精密軸承、密封件國產(chǎn)化率從2019年的不足20%提升至如今的55%；下游的晶圓廠、電池廠通過“聯(lián)合研發(fā)”模式，為國產(chǎn)真空泵企業(yè)提供應(yīng)用場景和改進(jìn)反饋。中國通用機(jī)械工業(yè)協(xié)會相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，“以應(yīng)用促研發(fā)、以研發(fā)降成本”的良性循環(huán)，正在推動國產(chǎn)真空泵從“可用”向“好用”“耐用”升級。

未來展望：瞄準(zhǔn)全球市場構(gòu)建競爭優(yōu)勢

面對全球高端裝備市場的競爭，國內(nèi)真空泵企業(yè)正加快“走出去”步伐。中科科儀在德國慕尼黑設(shè)立研發(fā)中心，吸納海外高端技術(shù)人才，其分子真空泵已進(jìn)入歐洲半導(dǎo)體企業(yè)供應(yīng)鏈；漢鐘精機(jī)在東南亞建設(shè)生產(chǎn)基地，服務(wù)當(dāng)?shù)匦履茉措姵禺a(chǎn)業(yè)集群，2025年海外營收占比預(yù)計突破20%。

行業(yè)專家指出，隨著工業(yè)4.0與智能制造的推進(jìn)，真空泵正朝著“智能化、小型化、低能耗”方向發(fā)展。國內(nèi)企業(yè)需持續(xù)聚焦核心技術(shù)研發(fā)，提升產(chǎn)品可靠性與服務(wù)能力，未來3-5年，國產(chǎn)高端真空泵在全球市場的份額有望突破15%，成為全球真空設(shè)備領(lǐng)域的重要一極。

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